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MEB (+ EBSD + EDS)

Utilisation : observations micrographiques fines.
Applications : analyse de faciès de rupture, caractérisation de texture locale d’agrégats polycristallins

 

Microscope électronique à balayage – ZEISS Supra 25 :
- Grossissement : x30 à x100 000
- Dimension mesurable : 1 cm à 0,05 µm
- Dimensions chambre : 33 cm (Ø) x 27 cm (h)
- 5 axes : X, Y, Z (9 cm max), T, R
- Résolution image : jusqu’à 3072 x 2304 pixel
- Tension : 0,5 à 20 kV
- Résolution : 1.5 nm à 20 kV - 1.7 nm à 15 kV - 3.5 nm à 1 kV.
Détecteurs : e- secondaire (contraste physique), e- rétrodiffusé (contraste chimique), EDS (dosage chimique semi-quantitatif), EBSD (orientation cristalline locale)
EBSD - Détecteur par diffraction d’électrons rétrodiffusés :
- Analyse locale : orientation cristalline, dosage de phase
- Echantillon à faibles dimensions (1 mm3)
- Surface lisse (polissage silice colloïdale)
- Paramètres de mesure :
- Résolution : de 10 µm à 0,1 µm
EDS – Spectromètre à dispersion d’énergie :
- Analyse quantitative pour les éléments du tableau périodique avec un numéro atomique supérieur à celui du sodium (Z > 11) 
- Surface d’analyse max : 2 x 1,5 mm²
- Résolution min : 50 nm
- Temps d’analyse : de 1 s à quelques minutes
- Seuil de détection : 0,1%m

Équipement financé grâce au soutien de la Région Pays de la Loire et du FEDER